Электро-зондовый микроанализатор

EPMA-8050G

Благодаря применению передовой электронно-оптической системы с термополевым источником излучения (эмиттер Шоттки), микроанализатор EPMA-8050G обладает беспрецедентно высоким пространственным разрешением СЭМ-изображений в широком диапазоне токов (вплоть до 1 мкА). В сочетании с высокопроизводительными спектрометрами рентгеновского излучения, оптическим микроскопом, сдвоенным цифровым преобразователем сканирования и новой рабочей станцией, система позволяет достичь непревзойденных результатов при проведении микроанализа.

Особенности

  • Использование в конструкции электронной пушки высокопроизводительного эмиттера Шоттки позволило значительно сузить диаметр пучка и обеспечить сверхвысокое пространственное разрешение во всем диапазоне ускоряющих напряжений.
    EPMA-8050G_1
  • Разрешение изображения во вторичных электронах (3 нм при ускоряющем напряжение 30 кВ) является самым высоким среди систем EPMA.
  • Стабильный электронный пучок (максимальный зондовый ток 3 мкА) позволяет достичь высокого пространственного разрешения и чувствительности во всем диапазоне токов без необходимости изменения апертуры объектива.
  • Двухстадийная система вакуумирования обеспечивает постоянный высокий вакуум в камере электронной пушки и, соответственно, высокую стабильность пучка, необходимую для прецизионного микроанализа.
  • Можно установить до пяти высокопроизводительных 4-дюймовых рентгеновских спектрометра с углом регистрации лучей рентгеновского излучения 52,5°.
  • Интуитивно понятное управление пригодно как для использования новичками, так и для проведение сложных анализов опытными пользователями.
  • Многооконный интерфейс позволяет работать в многозадачном режиме и представлять результаты в самом удобном и подробном виде, что повышает наглядность результатов и эффект от их изучения.
  • Не требует большого пространства для размещения (минимальные габариты помещения составляют 3,5 х 4,0 м).

Технические характеристики

Электроннооптическая система
Источник электронов Эмиттер Шоттки
Разрешение во вторичных электронах 3 нм (30 кВ ускоряющее напряжение)
Аналитические условия для разрешения во вторичных электронах 10 кВ ускоряющее напряжение: 20 нм (10 нА ток зонда) / 50 нм (100 нА ток зонда) / 150 нм (1 мкA ток зонда)
от 0,5 кВ до 30 кВ (шаг 0,1 кВ; шаг 10 В при напряжении до 5 кВ)
Ток зонда 0,2 нА до 1 мкА (30 кВ ускоряющее напряжение)
Стабильность тока зонда ±0,3 %/ч (ток зонда: 50 нА, ускоряющее напряжение: 10 кВ)
Увеличение 40х – 400 000х
Максимальный размер пикселей для сохраненного изображения 5,120 х 3,840
Детектор электронов обратного рассеяния 4-х блочный полупроводниковый детектор
Апертура объектива отсутствует необходимость смены во всех режимах работы
Оптическая система для наблюдения
Разрешение 1 мкм (для наблюдения невооруженным глазом)
Поле обозрения Прибл. Ø 600 мкм (для наблюдения невооруженным глазом), прибл. 480 х 360 мкм (на экране компьютера)
Глубина объекта 4 мкм
Столик для образца
Максимальные размеры образца 100 х 100 х 50 мм
Максимальная масса образца 2 кг
Максимальный рабочий диапазон по осям X, Y: 90 мм, по оси Z: 7 мм
Минимальный шаг перемещения образца по осям X, Y: 0,02 мкм, по оси Z: 0,1 мкм
Максимальная скорость перемещения столика по осям X, Y: 15 мм/с, по оси Z: 1 мм/с
Система рентгеновских спектрометров
Диапазон определяемых элементов 4Be – 92U
Количество волнодисперсионных спектрометров от 2 (стандарт) до 5 (возможно дооснащение одним энергодисперсионным спектрометром)
Угол выхода (отбора) рентгеновского излучения 52,5⁰
Радиус круга Роуланда 4 дюйма (101,6 мм)
Система вакуумирования
Уровень вакуума Камера анализа 1,0 х 10-3 Па или меньше
Блок электронной пушки 3,5 х 10-7 Па или меньше
Вакуумные насосы Турбомолекулярные насосы 1 блок для основной откачки;
1 блок для предварительной откачки
Роторные насосы 1 блок для основной откачки;
1 блок для предварительной откачки
Ионные насосы 2 блока для камеры электронной пушки;
1 блок для промежуточной камеры
Датчики вакуума Датчик Пеннинга, датчик Пирани и ионный датчик
Автоматические операции Управление вакуумом (главная камера, электромагнитные клапаны, камера ввода образца, камера электронной пушки), операции безопасности при обнаружении ошибок
Программы наблюдения
Функции контроля Контроль электронно-оптической системы, системы наблюдения, столика для образцов, рентгеновских спектрометров, системы вакуумирования
Автоматические функции Фокус, коррекция астигматизма, контраст/яркость, нагрев катода, настройки тока зонда
Режимы анализа
— качественный и количественный анализ;
— режим картирования и анализа по линии;
— построение калибровочных кривых;
— анализ химического состояния;
— моделирование области проникновения электронного луча (метод Монте Карло);
— фазовый анализ;
— анализ следовых количеств элементов