Електро-зондовий мікроаналізатор

Завдяки застосуванню передової електроно-оптичної системи з емітером Шотткі, мікроаналізатор EPMA-8050G володіє безпрецедентно високою просторовою роздільною здатністю СЕМ-зображень в широкому діапазоні струмів (аж до 1 мкА). В поєднанні з високопродуктивними  спектрометрами рентгенівського випромінювання, оптичним мікроскопом, здвоєним цифровим перетворювачем сканування та новою робочою станцією, система дозволяє досягнути неперевершених результатів при проведенні мікроаналіза.

Особливості

  • Використання в конструкції електронної гармати високопродуктивного емітера Шоткі дозволило значно звузити діаметр пучка і забезпечити надвисоку просторову роздільну здатність в усьому діапазоні прискорюючих напруг.
  • Роздільна здатність зображення у вторинних електронах (3 нм при прискорюючій напрузі 30 кВ) є самою високою серед систем EPMA.
  • Стабільний електронний пучок (максимальний зондовий струм 3 мкА) дозволяє досягнути високої просторової роздільної здатності і чутливості в усьому діапазоні струмів без необхідності зміни апертури об’єктива.
  • Двохстадійна система вакуумування забезпечує постійний високий вакуум в камері електронної гармати і, відповідно, високу стабільність пучка, необхідну для прецизійного мікроаналізу.
  • Прилад можна обладнати високопродуктивними 4-дюймовими рентгенівськими спектрометрами (до п’яти штук) з кутом реєстрації променів рентгенівського випромінювання 52,5°.
  • Інтуїтивно зрозуміле управління придатне як для використання новачками, так і для проведення складних аналізів досвідченими користувачами.
  • Багатовіконний інтерфейс дозволяє працювати в багатозадачному режимі і подавати результати в самому зручному і детальному вигляді, що підвищує наочність результатів і ефект від їх вивчення.
  • Не потребує великого простору для розміщення (мінімальні габарити приміщення становлять 3,5 х 4,0 м).