Нове покоління приладів для високоточного рентгеноспектрального аналізу нано- та мікрооб’єктів дозволяє отримувати зображення поверхні в режимі растрової електронної мікроскопії (у вторинних або відбитих електронах), виконувати якісний та кількісний елементний аналіз, картування розподілення елементів по площі і концентрації, ідентифікацію елементів в залишкових кількостях, вивчати розподіл по складу у відбитих електронах, хімічний стан елемента і тип механічного зв’язку.
Електронно-зондові мікроаналізатори
Особливості
- В приладі реалізований більш високий кут реєстрації променів рентгенівського сипромінювання (52.5°), що є важливою умовою покращення його аналітичних характеристик, так як це забезпечує кращу просторову роздільну здатність, підвищену чутливість, за рахунок меншого поглинання рентгенівського випромінювання, і зменшує поглинання при аналізі дна заглиблення або посторонньої речовини в заглибленні (високоточний аналіз шорсткуватих зразків).
- Мікроаналізатор відрізняється максимальною стабільністю і відтворюваністю, і є еталонним для мікроаналізу. Чутливість під час аналізу деяких елементів може досягати десятків ppm.
- Вбудований оптичний мікроскоп зі збільшенням приблизно 540Х, коаксіальний і конфокальний з електронним зондом, дозволяє одночасно проглядати РЭМ зображення і оптичне зображення, що несе інформацію про колір зразку.
- Використання в конструкції високоефективних кристалів-аналізаторів Йогансона сприяє досягненню ідеальної конвергенції без аберації.
- В приладі розміщуються до п’яти 4-дюймових хвильоводисперсійних спектрометрів, які перекривають повний спектральний діапазон.
- Катод CeB6 (використовується в EPMA-1720Н) володіє унікальним значенням яскравості і збільшеним терміном експлуатації.
- Інтуїтивно зрозуміле керування вимірюваннями придатне як для використання новачками, так і для проведення складних аналізів досвідченими користувачами.
- Багатовіконний інтерфейс дозволяє працювати в багатозадачому режимі і подавати результати в зручному і детальному вигляді, що підвищує наочність результатів і ефект від їх вивчення.
- Не потребує значного простору для встановлення (мінімальні габарити приміщення складають 3,0 х 4,0 м).
